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产品简介
炉室资料Puller Data
坩埚直径Crucible diameter: 20〞- 24〞
单晶直径Crystal diameter: 8〞- 12〞(200-300mm)
装料量Charge size: 90-150kg
喉管直径Throat Diameter: 14 ”(356mm)
主炉膛内径Main furnace Diameter: ¢1120mm
主炉膛高度Main furnace Height: 1480mm
炉门开口尺寸Pull Chamber Door Opening: 15”×82”(380mm×2082mm)
主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main: 221 cfm (6,260 l/min)
辅助真空泵抽速(Recommended) Aux: 60 cfm (1700 l/min)
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